PLCプラットフォームを用いた光電子ハイブリッド集積
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概要
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光回路として十分な実績を持つ埋込み型石英系光導波路、LD素子を搭載するためのSiテラス、および高周波電気配線を同一Si基板上にハイブリッド集積したPLCプラットフォームを実現した。高周波電気配線として、Si基板上に石英ガラス層をバッファー層として用いコプレーナ線路を形成した。この構造により、高周波領域で誘電体損失の大きいSi基板の影響を抑え、伝送損失を低減できることを確認した。このPLCプラットフォームにLD素子を搭載し、2.5GbsのNRZ信号で大信号パルス応答特性を調べた結果、明瞭なアイパターンが観測された。このようにPLCプラットフォームを光電子実装基板として応用できることが示された。
- 1994-09-16
著者
-
吉野 薫
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
森脇 和幸
NTT光エレ研
-
安 光保
NTTエレクトロニクス
-
小川 育生
NTT光エレクトロニクス研究所
-
柳沢 雅弘
NTT光エレクトロニクス研究所
-
美野 真司
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
安 光保
NTT光エレクトロニクス研究所
-
山田 泰久
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
北澤 厳
NTT光エレクトロニクス研究所
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