高精度加工用真空ピンチャックの開発(第1報) : ピン支持によるチャッキングの高精度化
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1997-12-05
著者
-
大平 文和
日本電信電話(株)通信エネルギー研究所
-
大平 文和
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
松井 伸介
NTT境界領域研究所
-
松井 伸介
NTT光エレクトロニクス研究所
-
石川 良征
NTT光エレクトロニクス研究所
-
宇根 篤暢
NTTシステムエレクトロニクス研究所
-
清水 彰
NTTシステムエレクトロニクス研究所
-
石川 良征
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
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