SPP(Silicone-based Positive Photoresist)マスクによるポリイミドの三次元立体加工
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概要
著者
-
澤田 廉士
Ntt マイクロシステムインテグレーション研究所
-
松井 伸介
NTT境界領域研究所
-
澤田 廉士
Ntt 通信エネルギー研
-
伊藤 高廣
NTT通信エネルギー研究所
-
伊藤 高廣
NTT光エレ研
-
輿水 博
NTT-AT
-
松井 伸介
Ntt
-
澤田 廉士
日本電信電話(株)通信エネルギー研究所
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