圧電素子変位の拡大機構と集積型変位センサを組み込んだ3次元ステージの作製
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概要
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- 1998-10-23
著者
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澤田 廉士
Ntt通信エネルギー研究所
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澤田 廉士
Ntt マイクロシステムインテグレーション研究所
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日暮 栄治
Ntt光エレクトロニクス研究所
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日暮 栄治
Ntt 光エレクトロニクス研
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澤田 廉士
Ntt 通信エネルギー研
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伊藤 高廣
NTT通信エネルギー研究所
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伊藤 高廣
NTT光エレ研
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