高次の回折光を利用した超高精度マイクロエンコーダ

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概要

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• 2000-07-18

著者

• 澤田 廉士

  Ntt通信エネルギー研究所

• 日暮 栄治

  Ntt通信エネルギー研究所

• 澤田 廉士

  九州大学工学研究院機械工学部門

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