MEMS光スイッチモジュール(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
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概要
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本稿ではMEMSミラーアレイと空間光学系により構成される3-D MEMS大規模光スイッチについて述べる。MEMSミラーは単結晶シリコンから構成されており、高アスペクト比のトーションバネにより2軸方向に回転可能になる様、支持されている。また立体テラス電極の導入により、従来の平板電極を用いる構成に比べて低電圧駆動を可能にしている。スイッチの入出力部を構成するコリメータアレイには、ポリマー成形部品と細径フェルールより成る光ファイバアレイ、およびポリマー製マイクロレンズアレイを用いており、高精度でありながら低コスト化を実現している。これまでに100入力、100出力構成の光スイッチを試作し、挿入損失4.0dB、スイッチング時間3msと良好な特性を確認している。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-08-21
著者
-
山本 剛
日本電信電話株式会社
-
上西 祐司
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
澤田 廉士
日本電信電話公社武蔵野電機通信研究所
-
日暮 栄治
東京大学先端科学技術研究センター
-
日暮 栄治
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
日暮 栄治
日本電信電話(株)光エレクトロニクス研究所光応用装置研究部光マイクロシステム研究グループ
-
山口 城治
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
NTT光エレクトロニクス研究所
-
澤田 廉士
九州大学工学研究院機械工学部門
-
清水 彰
日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
竹内 信行
日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山本 剛
NTTエレクトロニクス株式会社
-
山本 剛
日本電信電話(株)nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
竹内 信行
日本電信電話(株)
-
上西 祐司
日本電信電話(株)nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
日本電信電話株式会社マイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
日本電信電話(株)
-
澤田 廉士
日本電信電話(株)通信エネルギー研究所
-
日暮 栄治
東京大学先端科学技術センター
-
山口 城治
日本電信電話 (株) マイクロシステムインテグレーション研究所
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