C-5-7 フィジカルエージングによるMEMSミラーの角度変動とその抑制(C-5.機構デバイス,一般セッション)
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概要
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- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-09-03
著者
-
佐藤 昇男
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下山 展弘
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
阪田 知巳
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
桑原 啓
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
NTT光エレクトロニクス研究所
-
神 好人
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
神 好人
Ntt 通信エネルギー研
-
石原 隆子
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
阪田 知巳
日本電信電話株式会社
-
山口 城治
日本電信電話株式会社
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
中島 光雅
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
根本 成
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城冶
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
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