MEMSミラーを用いた波長選択スイッチの特性制御(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
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概要
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2軸独立駆動可能なMEMSミラーアレイを用いて、波長選択スイッチ(WSS)を作製した。このWSSはミラーを2軸で制御することにより、ポート切替、ヒットレス動作、アッテネーション機能を有するとともに、2軸を同調して制御することによりミラー回転により発生するラビットイヤー(特性劣化)の抑制、及び温度による損失変動の補償が可能である。
- 2011-08-18
著者
-
松浦 徹
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
阪田 知巳
日本電信電話
-
下山 展弘
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
橋本 悦
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
葉玉 恒一
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
石井 雄三
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
松浦 伸昭
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下山 展弘
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
NTT境界領域研究所
-
石井 雄三
日本電信電話株式会社マイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
Ntt マイクロシステムインテグレーション研
-
橋本 悦
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
松浦 伸昭
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社
-
葉玉 恒一
日本電信電話株式会社マイクロシステムインテグレーション研究所
-
阪田 知巳
日本電信電話株式会社
-
下山 展弘
日本電信電話株式会社
-
内山 真吾
日本電信電話株式会社
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社 Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
橋本 悦
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
松浦 徹
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
内山 真吾
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
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