隣接チャネル間電気干渉を抑制可能な波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイ(マイクロ波フォトニクス技術,一般)
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概要
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波長選択スイッチ(WSS)用として、高フィルファクタで狭ピッチ・多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMSミラーアレイを開発した。ミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的干渉を抑制するため、シミュレーションによる解析を行い、ミラー駆動用アクチュエータ部に電界分離用電極を配置する電極構造を設計した。開発した小型気密封止パッケージ構造を適用し、試作した50chミラーアレイモジュールにおいて、良好な駆動特性、および電気干渉低減効果を確認した。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2012-07-19
著者
-
松浦 徹
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
阪田 知巳
日本電信電話
-
橋本 悦
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
葉玉 恒一
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
石井 雄三
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
松浦 伸昭
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下山 展弘
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
石井 雄三
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
橋本 悦
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
松浦 伸昭
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社
-
阪田 知巳
日本電信電話株式会社
-
下山 展弘
日本電信電話株式会社
-
内山 真吾
日本電信電話株式会社
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社 Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
内山 真吾
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
内山 真吾
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
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