ふっ素化ポリイミドによる形状異方性マイクロ物体の作製と光圧回転特性
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1995-07-05
著者
-
松浦 徹
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
浮田 宏生
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
板生 清
中央大学理工学部
-
日暮 栄治
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
日暮 栄治
日本電信電話(株)光エレクトロニクス研究所光応用装置研究部光マイクロシステム研究グループ
-
松浦 徹
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
大口 脩
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
浮田 宏生
日本電信電話(株)境界領域研究所:(現)立命館大学理工学部
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