円筒型圧電アクチュエータを利用したマイクロステップXYθステージの開発
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1994-12-05
著者
-
原 臣司
藤田保健衛生大学
-
板生 清
中央大学理工学部
-
原 臣司
愛知きわみ看護短期大学
-
原 臣司
藤田保健衛生大学短期大学
-
原 臣司
藤山保健衛生大学短期大学部
-
原 臣司
名古屋大学 大学院医学系研究科医療管理情報学
-
松田 隆一
静岡県立大学経営情報学部
-
金子 礼三
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所
-
伊与木 誠人
中央大学大学院
-
金子 礼三
日本電信電話(株)ntt電子応用研究所
-
金子 礼三
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
伊与木 誠人
中央大学大学院:セイコー電子工業(株)
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