複合共振形光センサによる微小機構のカセンシング (<小特集>ロボットの知能化)
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概要
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A high-resolution, high-speed microforce sensing method using a simple displacement sensor with coupled-cavity-laser is presented. A resolution of 0.5mN is achieved for frequencies up to 3kHz using a leaf spring with a stiffness coefficient of 500mN/μm. This method has been applied to detecting micro-frictional forces for micromechanical systems. The microscopic static- and kinetic-frictional forces have been measured and estimated under various magnitudes of load, neglecting the force of inertia.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1996-10-25
著者
-
鈴木 哲也
Hoya(株)
-
板生 清
中央大学理工学部
-
原 臣司
愛知きわみ看護短期大学
-
原 臣司
藤田保健衛生大学短期大学
-
原 臣司
Ntt
-
原 臣司
藤山保健衛生大学短期大学部
-
原 臣司
名古屋大学 大学院医学系研究科医療管理情報学
-
片桐 祥雅
NTT 通信エネルギー研究所
-
板生 清
中央大学
-
伊与木 誠人
中央大学大学院
-
河田 慶三郎
中央大学大学院
-
鈴木 哲也
中央大学大学院
-
片桐 祥雅
日本電信電話(株) 境界領域研究所
-
片桐 祥雅
Ntt
-
伊与木 誠人
中央大学大学院:セイコー電子工業(株)
-
河田 慶三郎
中央大学
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