櫛歯状マイクロ振動子の振動解析
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概要
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- 1996-03-01
著者
-
板生 清
中央大学理工学部
-
保坂 寛
Ntt
-
桑野 博喜
日本電信電話(株) サーバーソリューション研究所
-
桑野 博喜
Ntt 入出力システム研究所
-
板生 清
中央大学
-
桑野 博喜
NTT日本電信電話(株)境界領域研究所
-
大澤 孝夫
中央大学
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