電磁マイクロリレーの試作とその性能
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概要
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マイクロマシンの機械式リレーへの応用を検討した.周辺回路のコスト,粉塵に対する信頼性,自己保持の容易性から電磁駆動方式を採用した.まず接点と接点ばねの電気・機械的特性を測定し,基本的な設計指針を示した.接点については,押し付け力0.1mNオーダーで抵抗は0.1Ωオーダに安定することを示した.ばねついては,点対称な屈曲形状とすれば,そりや剛性変動がなくなることを示した.次いで一部にマイクロマシニングを適用して,マイクロスプリング型および多接点自己保持型リレーを試作した.動作特性を測定し,前者では1ms以下の高速スイッチングが,後者では自己保持とパルスによる開閉制御が可能なことを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-07-16
著者
-
保坂 寛
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
桑野 博喜
日本電信電話(株) サーバーソリューション研究所
-
桑野 博喜
Ntt 入出力システム研究所
-
桑野 博喜
Ntt境界領域研究所
-
柳沢 佳一
NTT入出力システム研究所
-
柳沢 佳一
Ntt境界領域研究所
-
保坂 寛
NTT境界領域研究所
-
飯橋 真輔
NTT境界領域研究所
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