窒素イオンビームを用いたポリイミド膜の高アスペクト比微細加工
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 温度補償型超音波式液面レベル計の開発
- 学習ベクトル量子化を用いた水晶発振子式化学センサ応答のパターン認識
- プラズマ有機薄膜による環境ガスセンシング
- 水晶発振子式化学センサを用いた燃焼ガス検知試験
- 水晶発振子式化学センサの応答モデルに関する考察
- プラズマ有機薄膜を用いた化学センシングシステムの研究開発 (特集 情報センシング)
- プラズマポリマー薄膜を用いた化学センシングシステムへの線形フィルタの適用
- 窒素イオンビームを用いたポリイミド膜の高アスペクト比微細加工
- シリコン基板上の微小流路作製
- 高分子薄膜プローブを用いたインテリジェントガスセンサ
- 環境センシングの研究-1-含フッ素系高分子膜を用いた化学センシングシステムの研究 (情報センシング)
- 微小集積化プローブを用いた近接場光学顕微鏡
- フォトカンチレバーを用いた近接視野顕微鏡の開発
- マイクロシステムの研究開発 (特集 情報センシング)
- 電磁マイクロリレーの試作とその性能
- マイクロリレーアレー
- 通信システム用電磁マイクロリレーアレー
- 櫛歯状マイクロ振動子における連成振動の解析
- 通信用超小形マトリクスリレー
- 櫛歯状マイクロ振動子の振動解析
- マイクロマトリクスリレーの研究 : ミニチュアモデルによる接点干渉の解析
- ミニチュアマトリクスリレーの試作と動作解析