櫛歯状マイクロ振動子における連成振動の解析
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1997-07-05
著者
-
板生 清
東京大学大学院
-
桑野 博喜
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所
-
保坂 寛
日本電信電話(株)電気通信研究所
-
保坂 寛
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
桑野 博喜
日本電信電話(株) サーバーソリューション研究所
-
桑野 博喜
Ntt 入出力システム研究所
-
大澤 孝夫
中央大学
-
阿部 浩士
中央大学大学院
-
阿部 浩士
中央大学
-
桑野 博喜
日本電信電話(株)
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