自己検知駆動型プローブによるサブナノメートル制御
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概要
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A new atomic force microscope(AFM)was developed and its performance was evaluated experimentally and theoretically. First, a self-sensing and self-actuating probe with PZT film was fabricated, which simplifies AFM structure and increases imaging speed. Next, its dynamic characteristics were clarified by forced-vibration tests and follow-up tests, and the measured response time agreed with theoretical one obtained by a transient response analysis of a 1-DOF system. Finally a sapphire surface was measured by the developed AFM and the atomic size resolution was obtained.
- 社団法人日本時計学会の論文
- 2001-03-10
著者
-
保坂 寛
東京大学大学院
-
板生 清
東京大学大学院
-
板生 清
東京理大 大学院
-
板生 清
東京大学大学院工学系研究科
-
藤井 透
(株)ニコン
-
酒匂 景康
東京大学大学院新領域創成科学研究科環境学専攻
-
宮原 陽一
ローザンヌ連邦工科大学
-
渡辺 俊二
(株)ニコン
-
ブロイレル ハネス
ローザンヌ連邦工科大学
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