光熱駆動マイクロ振動子の運動解析

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概要

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• 1999-03-05

著者

• 保坂 寛

  東京大学大学院

• 板生 清

  東京大学大学院

• 保坂 寛

  東京大学

• 阿部 浩志

  セイコーエプソン株式会社

• 板生 清

  東京大学 大学院 新領域創成科学研究科

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