電磁駆動マイクロ光スキャナの速度検出法:駆動コイルの時分割駆動方式
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概要
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- 2002-03-01
著者
-
保坂 寛
東京大学大学院
-
佐々木 健
東京大学大学院
-
佐々木 健
東京大学 新領域創成科学研究科
-
板生 清
東京大学大学院
-
佐々木 健
東大 大学院
-
板生 清
東京理大 大学院
-
佐々木 健
東京工業大学情報理工学研究科
-
保坂 寛
東京大学
-
岩崎 哲
東京大学大学院新領域創成科学研究科
-
板生 清
東京大学大学院工学系研究科
-
宮島 博志
オリンパス(株)研究開発セノターMEMS開発本部MEMS事業推進部
-
板生 清
東京大学 大学院 新領域創成科学研究科
-
岩崎 哲
東京大学大学院新領域創成科学研究科環境学専攻
-
宮島 博志
オリンパス(株)
-
佐々木 健
東京大学
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