宮島 博志 | オリンパス(株)研究開発セノターMEMS開発本部MEMS事業推進部
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概要
関連著者
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宮島 博志
オリンパス(株)研究開発セノターMEMS開発本部MEMS事業推進部
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宮島 博志
オリンパス(株)
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保坂 寛
東京大学大学院
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佐々木 健
東京大学大学院
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佐々木 健
東京大学 新領域創成科学研究科
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東京大学大学院
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オリンパス光学工業(株)半導体技術センター
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東大 大学院
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板生 清
東京理大 大学院
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東京工業大学情報理工学研究科
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保坂 寛
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東京大学大学院新領域創成科学研究科
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オリンパス光学工業(株)
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板生 清
東京大学大学院工学系研究科
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山本 英二
オリンパス光学工業(株)arc第2研究室
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太田 亮
オリノパス(株)研究開発セノターMEMS開発本部MEMS事業推進部
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板生 清
東京大学 大学院 新領域創成科学研究科
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柳沢 一向
オリンパス光学工業株式会社
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片白 雅浩
オリンパス光学工業株式会社研究部デバイス研究室
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東京大学大学院新領域創成科学研究科環境学専攻
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片白 雅浩
オリンパス光学工業(株) 研究開発センター
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伊藤 正孝
オリンパス光学工業株式会社
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松本 一哉
オリンパス光学工業 研開セ
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松本 一哉
オリンパス光学工業(株) 研究開発センター
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有馬 通継
オリンパス光学工業(株) 研究開発センター
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徳田 一成
オリンパス光学工業(株) 研究開発センター
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岡村 俊朗
オリンパス光学工業(株) 研究開発センター
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山本 英二
オリンパス光学工業株式会社
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宮島 博志
オリンパス光学工業(株) 研究開発センター
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佐々木 健
東京大学
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柳沢 一向
オリンパス光学工業
著作論文
- 光MEMSの設計・製造技術(MEMS設計・製造技術)
- 電磁駆動マイクロ光スキャナの速度検出法:駆動コイルの時分割駆動方式
- 面発光レーザ(SEL)を応用したマイクロセンサの開発
- パターン付き埋め込み酸化膜をもつ特殊SOIウエハーの製作プロセスとその広角2次元光スキャナへの適用
- マイクロミラーデバイス