面発光レーザ(SEL)を応用したマイクロセンサの開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1997-02-13
著者
-
柳沢 一向
オリンパス光学工業(株)
-
山本 英二
オリンパス光学工業(株)arc第2研究室
-
宮島 博志
オリンパス(株)研究開発セノターMEMS開発本部MEMS事業推進部
-
柳沢 一向
オリンパス光学工業株式会社
-
伊藤 正孝
オリンパス光学工業株式会社
-
宮島 博志
オリンパス(株)
-
山本 英二
オリンパス光学工業株式会社
-
柳沢 一向
オリンパス光学工業
関連論文
- 光造形法を応用したセラミック微小構造体の製法(第1報) : 製法の提案と光造形実験
- Jet-Printing-System法による圧電厚膜の形成
- 光MEMSの設計・製造技術(MEMS設計・製造技術)
- スパッタ法によるTiNi形状記憶合金薄膜の材料物性の評価
- 電磁駆動マイクロ光スキャナの速度検出法:駆動コイルの時分割駆動方式
- 面発光レーザを用いた小型エンコーダ
- 面発光レーザ(SEL)を応用したマイクロセンサの開発
- パターン付き埋め込み酸化膜をもつ特殊SOIウエハーの製作プロセスとその広角2次元光スキャナへの適用
- W2201 第一回マイクロ・ナノ工学専門会議若手サマースクール(ワークショップ)
- 光造形法を応用したセラッミク/金属微小構造体の製法(第3報) -粉末含有率の向上と脱脂焼結実験-
- 光造形法による異なる材料特性部を有する微細機能構造体の製法
- 管状マイクロマニピュレ-タ- (創刊15周年特集 マイクロマシン技術開発の現段階)
- マイクロマシン技術の医療への応用
- SMAプレートを用いた多自由度マイクロマニピュレータ
- 2006 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications
- IEE/LEOS Optical MEMS 2004 : International Conference on Optical MEMS and Their Applications 報告
- F20-(3) ナノ・マイクロメカトロニクスと光技術-光 MEMS
- Transducers '01/Eurosensors XV 報告
- MEMS光スキャナと専用アナログ信号処理ICを搭載する光スキャナモジュールの開発
- 面発光型半導体レーザーを用いたマイクロエンコーダー
- マイクロミラーデバイス
- ＩＣＰエッチングダメージが単結晶シリコンのぜい性破壊強度に及ぼす影響