マイクロカンチレバーの振動減衰に関する研究
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1996-05-05
著者
-
板生 清
東京大学大学院
-
保坂 寛
日本電信電話(株)電気通信研究所
-
保坂 寛
日本電信電話(株)境界領域研究所
-
黒田 進
東京大学
-
島津 聡
中央大学
-
黒田 進
中央大学大学院
-
島津 聡
中央大学大学院
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