並列微小振動子の振動連成
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概要
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The coupled vibration of micro-cantilevers is analyzed to develop high-speed information and sensing devices that use micro-actuator arrays. Main causes for it are the airflow around cantilevers and the elastic deformation of the root of cantilevers. The former is calculated by replacing the cantilevers with strings of spheres, combining the airflow force of spheres with an ordinary beam equation. The latter is analyzed by using FEM. By combining two results, the relationship between cantilever design parameters and total vibration amplitude is indicated graphically.
- 社団法人日本時計学会の論文
- 1999-03-10
著者
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