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中野 聡子 | NTTアドバンステクノロジ(株)
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関連著者
桑野 博喜
Ntt 入出力システム研究所
桑野 博喜
NTT入出力システム研究所
柳沢 佳一
NTT入出力システム研究所
中野 聡子
NTTアドバンステクノロジ(株)
著作論文
窒素イオンビームを用いたポリイミド膜の高アスペクト比微細加工
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