球圧子押込みによる薄膜の応力分布の近似式 : 膜厚が非常に薄い場合
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概要
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In electronic devices, magnetic disks and micromechanical systems, thin films coated on substrates are widely used. In order to develop a method for evaluation of their fracture strengths by means of indentation by a small spherical indenter, it is necessary to study the stress distribution in a film subjected to such indentation. In this paper, an approximate expression for the elastic stress distribution is derived for the case where the film thickness is much smaller than the radius of the contact area. A finite-element analysis is also carried out to examine the accuracy of the approximate expression.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 1994-02-25
著者
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