電磁マイクロアクチュエータとその応用
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 計測自動制御学会の論文
- 1996-03-10
著者
関連論文
- レーザビーム走査型管路検査センサの光学設計について
- 地下掘削推進機械用の水中超音波信号伝送技術
- プラズマポリマー薄膜を用いた化学センシングシステムへの線形フィルタの適用
- 球圧子押込みによる薄膜の応力分布の近似式 : 膜厚が非常に薄い場合
- 球圧子押込みによる薄膜・基板接合体の応力分布の弾塑性有限要素解析 : 薄膜の破壊強度評価を目的として
- 微小球圧子押込みによる薄膜の破壊強度評価
- 超微小硬度計による弾性定数の評価
- 球圧子埋込みによる薄膜・基板接合体の応力分布の有限要素解析 : 薄膜および界面のミクロ破壊との関連において
- 高分子薄膜プローブを用いたインテリジェントガスセンサ
- 微小集積化プローブを用いた近接場光学顕微鏡
- フォトカンチレバーを用いた近接視野顕微鏡の開発
- 電磁マイクロアクチュエータとその応用
- 電磁マイクロリレーの試作とその性能
- マイクロマトリクスリレーの研究 : ミニチュアモデルによる接点干渉の解析
- 通信における情報センシングの研究開発--センサ・コミュニケ-ション・ソサエティを目指して (情報センシング)