セラミックス薄膜・基板接合体における薄膜の破壊強度 : アルミナ薄膜の場合

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概要

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• 1997-09-24

著者

• 松村 隆

  電通大

• 市川 昌弘

  電気通信大学

• 市川 昌弘

  電通大

• 河崎 達也

  電気通信大学大学院

• 市川 昌弘

  電気通信大学機械制御工学科

• 高松 徹

  電通大

• 河崎 達也

  電通大院

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