横振動超音波加工によるシリコンウェハへの穴加工

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

著者

• 飯橋 真輔

  NTT境界領域研究所

関連論文

• 電磁マイクロリレーの試作とその性能
• 横振動超音波加工によるシリコンウェハへの穴加工

スポンサーリンク