5 半導体レーザを集積した光マイクロセンサ(<特集>マイクロマシンの現状と動向)
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概要
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- 社団法人溶接学会の論文
- 2000-09-05
著者
-
澤田 廉士
日本電信電話公社武蔵野電機通信研究所
-
日暮 栄治
日本電信電話(株)境界領域研究所
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日暮 栄治
日本電信電話(株)光エレクトロニクス研究所光応用装置研究部光マイクロシステム研究グループ
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澤田 廉士
九州大学工学研究院機械工学部門
-
澤田 廉士
日本電信電話(株)通信エネルギー研究所
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