低温接合に基づく3次元ハイブリッド光集積技術と超小型・薄型光マイクロセンサへの応用 (特集 異種材料光集積技術の現状と展望)
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概要
著者
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日暮 栄治
東京大学先端科学技術研究センター
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
-
澤田 廉士
九州大学工学研究院機械工学部門
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須賀 唯知
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
日暮 栄治
東京大学先端科学技術センター
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