CI-3-1 表面活性化接合による異種基板の低温直接接合(CI-3.接合技術を用いた新規集積光デバイス,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)

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概要

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• 2011-08-30

著者

• 須賀 唯知

  東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻

• 須賀 唯知

  東京大学工学系研究科精密機械工学専攻

• 須賀 唯知

  東京大学工学系研究科

• 近藤 龍一

  東京大学工学系研究科

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