無洗浄鉛フリーはんだペーストの印刷と水素ラジカルリフローを用いたマイクロデバイスの気密封止技術(<特集>電子デバイスの高速・高密度実装とインテグレーション技術論文)
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概要
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マイクロデバイスのチップサイズパッケージを実現するために,無洗浄鉛フリーはんだペーストのスクリーン印刷と水素ラジカルリフローを用いた封止技術の開発を試みた.フラックス残渣の洗浄が不要な鉛フリーはんだペースト(Sn-3.0Ag-0.5Cu)をガラス基板上の封止枠上にスクリーン印刷し,水素ラジカル雰囲気中でリフローすることにより,封止用はんだパターンを形成した.このガラス基板とカンチレバを内蔵したSiキャビティ基板を接合することにより大気圧下での気密封止を行った.封止評価は,封止されたサンプル外部の圧力を変化させながら,カンチレバにおける機械的Q値の雰囲気圧力依存性を用いてサンプル内部圧力を測定することで行った.試験用封止サンプル(キャビティ容積:1.9×10^<-3>cm^3)が気密封止可能であることを確認した.
- 2011-11-01
著者
-
山本 真一
自治医科大学附属さいたま医療センター 呼吸器外科
-
日暮 栄治
東京大学先端科学技術研究センター
-
山本 真一
東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
-
須賀 唯知
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
須賀 唯知
東京大学工学系研究科
-
山本 真一
自治医科大学胸部外科
-
山本 真一
鳥取大学工学部土木工学科
-
山本 真一
自治医科大学外科学講座呼吸器外科部門
-
山本 真一
東京大学工学系研究科精密工学専攻
-
押川 紘樹
東京大学工学部精密工学科
-
岡田 咲枝
千住金属工業株式会社
-
山本 真一
自治医科大学外科学講座呼吸器外科学部門
-
日暮 栄治
東京大学先端科学技術センター
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