CI-3-4 低温接合による異種材料集積技術と光マイクロセンサへの応用(CI-3.接合技術を用いた新規集積光デバイス,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)
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概要
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- 2011-08-30
著者
-
日暮 栄治
東京大学先端科学技術研究センター
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
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澤田 廉士
九州大学工学研究院機械工学部門
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須賀 唯知
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
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澤田 廉士
九州大学大学院工学研究院
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須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
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日暮 栄治
東京大学先端科学技術センター
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須賀 唯知
東京大学大学院 工学系研究科
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