走査型力顕微鏡のための三次元駆動圧電マイクロカンチレバー
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概要
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A new type piezoelectric microcantilever which can be actuated in three orthogonal directions and can detect its deflection is proposed for the application for scanning force microscopy. A "T-shaped" cantilever with one piezoelectric layer is designed. Calculations show that the cantilever has a scanning area larger than 1×1/μm and vertical resolution smaller than I nm. The microfabrication process including the deposition of 3-μm-thick PZT film by sol-gel method is developed, and a test device is successfully fabricated.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2000-06-05
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
-
伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
-
前田 龍太郎
機械技術研究所
-
片岡 憲一
東京大学先端研
-
Chu J
機械技術研究所
-
片岡 憲一
東京大学大学院
-
CHU Jiaru
機械技術研究所
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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