液体中用圧電薄膜微小力センサを用いた走査型力顕微鏡の開発
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概要
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- 1997-03-01
著者
-
須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
-
三隅 伊知子
東京大学大学院
-
伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
-
楮 家如
東京大学先端研
-
楮 家如
東京大学工学部
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
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