窒化アルミニウム多結晶基板の湿式研磨における表面損傷の電子顕微鏡観察
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概要
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AIN polycrystalline specimens were wet-polished with Al2O_3 and Cr_2O_3 abrasives. A flat surface with a roughness of 100 nm was achieved, while the surface layer was heavily damaged. High-voltage electron microscopy revealed that the damaged and/or dislocated layer was about 0.5μm thick and a few dislocations propagated deeper. The source of dislocation such as free surface and grain boundary was discussed.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1991-07-01
著者
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