Φ200mmSiウエハの常温接合(第2報) : Au薄膜の接合性の検討
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
須賀 唯知
東京大学
-
須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
-
岡田 浩尚
東京大学大学院工学系研究科
-
伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
-
HOWLADER M.
東京大学先端研
-
伊藤 俊輔
東京大学大学院
-
岡田 浩尚
東京大学大学院工学系研究科:(現)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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