フリッティングを用いた低接触力MEMSプローブカードのためのマイクロカンチレバーの開発 : (第2報)マイクロカンチレバーの特性
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概要
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- 2002-10-01
著者
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須賀 唯知
東京大学
-
須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
-
伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
-
片岡 憲一
東京大学先端研
-
河村 晋吾
東京大学大学院
-
河村 晋吾
東京大学工学部
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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