伊藤 寿浩 | 東京大学先端科学技術研究センター
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
-
須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
-
片岡 憲一
東京大学先端研
-
須賀 唯知
東京大学
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
-
片岡 憲一
東京大学大学院
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
河村 晋吾
東京大学工学部
-
岡田 浩尚
東京大学大学院工学系研究科
-
HOWLADER M.
東京大学先端研
-
岡田 浩尚
東京大学大学院工学系研究科:(現)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
-
前田 龍太郎
産業技術総合研究所
-
高木 秀樹
産総研
-
高木 秀樹
産業技術総合研究所
-
赤池 洋剛
東京大学先端科学技術研究センター
-
前田 龍太郎
機械技術研究所
-
Chu J
機械技術研究所
-
前田 龍太郎
産業技術総合研
-
高木 秀樹
産業技術総合研
-
佐々木 元
広島大学工学研究科
-
土屋 智由
(株)豊田中央研究所
-
土屋 智由
京都大学大学院
-
三隅 伊知子
東京大学大学院
-
楮 家如
東京大学先端研
-
奈良 友寿
職業能力開発総合大学校
-
河村 晋吾
東京大学大学院
-
前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
-
伊藤 俊輔
東京大学大学院
-
楮 家如
東京大学工学部
-
CHU Jiaru
機械技術研究所
-
JIARU Chu
機械技術研究所
-
JIARU Ohu
東京大学先端研
-
佐々木 元
広島大学工学部第1類
著作論文
- 公開特許から見たMEMSデバイスのための接合技術動向
- 液体中用圧電薄膜微小力センサを用いた走査型力顕微鏡の開発
- 表面活性化法による封止接合(第2報) : 評価用Siマイクロ構造の設計と製作
- 表面活性化法による封止接合
- MEMSプローブカードのためのフリッティングコンタクト : (第6報)銅電極のフリッティング特性
- フリッティングを用いた低接触力MEMSプローブカードのためのマイクロカンチレバーの開発 : (第2報)マイクロカンチレバーの特性
- MEMSブローブカードのためのフリッティングコンタクト : 第5報 電圧・電流印加法とフリッティング特性
- フリッティングを用いた低接触力MEMSブローブカードのためのマイクロカンチレバーの開発
- マイクロマシンプローブカードへのフリッティングコンタクトプロセスの適用可能性
- MEMSプローブカードのためのフリッティングコンタクト(第2報)電極材料とフリッティング特性
- MEMSプローブカードのための低接触力カフリッティングコンタクト
- MEMSブローブカードのためのフリッティングコンタクト : (第4報)雰囲気とフリッティング特性
- 走査型力顕微鏡のための三次元駆動圧電マイクロカンチレバー
- 圧電マイクロ走査型力顕微鏡の開発
- PZT圧電マイクロカンチレバーを用いた走査型力顕微鏡による加工
- MEMSパッケージング分科会 : MEMS実用化の鍵を握る実装技術(専門委員会・分科会研究レビュー)
- Φ200mmSiウエハの常温接合(第2報) : Au薄膜の接合性の検討
- MEMS 実装の課題と常温接合(12. マイクロ・メカトロニクス実装技術委員会)(2001 年エレクトロニクス実装技術の動向 : エレクトロニクス実装のキーテクノロジを探る)
- ゾル-ゲル法によるマイクロセンサー, マイクロアクチュエーター用圧電体チタン酸ジルコン酸鉛セラミックス薄膜の作製とその特性
- シリコンマイクロマシニングを利用したウェハブローブカード
- 圧電薄膜アクチュエーターの評価と走査型力顕微鏡への応用
- 圧電薄膜による走査型力顕微鏡(SMF)用微小力センサ(メカトロニクスを革新する小形・マイクロセンサ)
- 公開特許から見たMEMSデバイスのための接合技術動向