MEMS 実装の課題と常温接合(12. マイクロ・メカトロニクス実装技術委員会)(<特集>2001 年エレクトロニクス実装技術の動向 : エレクトロニクス実装のキーテクノロジを探る)
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概要
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- 2001-01-01
著者
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須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
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伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
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須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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