原子間力顕微鏡を用いた湿度環境下における金属酸化膜の表面間力測定と水メニスカスモデルによる評価
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概要
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- 2012-11-01
著者
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
-
山下 崇博
東京大学大学院工学系研究科
-
須賀 唯知
東京大学大学院 工学系研究科
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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山下 崇博
東京大学大学院 工学系研究科
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