マイクロカンチレバーアレイを用いたフレキシブルデバイス用接点構造の特性評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2012-04-01
著者
-
三宅 晃司
(独)産業技術総合研究所
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研
-
三宅 晃司
技術研究組合beans研究所 Macro Beans センター
-
Khumpuang Sommawan
(独)産業技術総合研究所
-
山下 崇博
技術研究組合BEANS研究所 Macro BEANS センター
-
伊藤 寿浩
技術研究組合BEANS研究所 Macro BEANS センター
-
伊藤 寿浩
技術研究組合 Beans研究所 Macro Beans センター
-
山下 崇博
東京大学大学院工学系研究科
-
山下 崇博
東京大学大学院 工学系研究科
-
山下 崇博
技術研究組合BEANS研究所
関連論文
- 製織型フレキシブルシートデバイス用圧電薄膜被覆繊維の開発(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 常温封止接合プロセスと封止性能評価用センサーの開発
- 次世代MEMSと実装技術
- M1-6 機能性繊維の製織によるフレキシブルシートデバイスの開発(M1 製作技術,材料)
- TIA-N-MEMSの構築と今後の展開
- 有機分子マシン : 表面上で制限された分子運動
- 日本トライボロジー学会50年の歩み
- 有機分子自己組織化膜のナノトライボロジーへの展開(ナノテクノロジーとの融合によるトライボロジーの新展開,F16 機素潤滑設計部門企画)
- ナノインデンテーション法による薄膜材料の機械的特性評価
- 「機能性表面創成技術」特集号発刊によせて
- ナノインデンテーション
- 健康と安全・安心 : アニマルウォッチセンサネットの開発に向けて(安全・安心)
- 18pWH-5 有機分子マシンの摩擦の素過程と制御(領域9,領域10合同シンポジウム ナノスコピック系の摩擦の物理:摩擦の素過程と制御,領域9,表面・界面,結晶成長)
- SPMによる超分子の観察と分子操作
- 717 ヒューマンヘルスケア応用のための超高感度マイクロ圧電共振デイスク(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 表面間力の定量的評価に基づくMEMSスイッチのスティクション防止膜の検討
- マイクロカンチレバーアレイを用いたフレキシブルデバイス用接点構造の特性評価
- 大気圧プラズマ化学輸送法を用いて作製したシリコン膜の特性評価
- シリコーンエラストマーを用いた製織シートデバイス用接点構造の開発とその特性評価
- 原子間力顕微鏡を用いた湿度環境下における金属酸化膜の表面間力測定と水メニスカスモデルによる評価
- シリコーンエラストマーを用いた製織シートデバイス用接点構造の開発とその特性評価
- 原子間力顕微鏡を用いた湿度環境下における金属酸化膜の表面間力測定と水メニスカスモデルによる評価
- 環境発電アプリケーションのための低共振周波数圧電ポリマーシートの開発
- 無線センサ端末とマイクロメカトロニクス実装技術
- 開放系でのプラズマプロセス実現に向けた雰囲気制御技術開発