表面間力の定量的評価に基づくMEMSスイッチのスティクション防止膜の検討
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概要
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- 2012-01-01
著者
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
-
山下 崇博
東京大学大学院工学系研究科
-
須賀 唯知
東京大学大学院 工学系研究科
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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山下 崇博
東京大学大学院 工学系研究科
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