MEMSプローブカードのためのフリッティングコンタクト(第2報)電極材料とフリッティング特性
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概要
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- 2000-09-01
著者
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須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
-
伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
-
片岡 憲一
東京大学先端研
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片岡 憲一
東京大学大学院
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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