水素プラズマを用いた鉛フリーはんだリフロープロセスのリアルタイム観察とリフロープロファイルの構築(信頼性解析評価技術,<特集>先端電子デバイスパッケージと高密度実装プロセス技術の最新動向論文)
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概要
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はんだの鉛フリー化及びフリップチップ実装の拡大とともに鉛フリーはんだを用いた低コストはんだバンプ形成の要求が増大している.本研究では,鉛フリー・無残渣はんだペースト(Sn-3.0Ag-0.5Cu)の印刷と還元力の強い水素プラズマリフローを組み合わせることにより,フラックス残渣の洗浄工程を不要にした狭ピッチ対応・低コストバンプ形成手法を開発した.プラズマリフロー結果は,プラズマ照射時間や照射タイミングなどのプロセス条件によって大きく影響を受けることが分かった.水素プラズマリフロープロセスにおけるはんだペーストの動的な挙動を明らかにするために,CCDカメラによりリアルタイム観察することを試みた.不十分な水素プラズマ照射により溶融しても完全な球形バンプにならない状態や,長時間の水素プラズマ照射により何度も溶融バンプが破裂する動的な挙動が明らかになった.様々な条件でリフロー実験を行い,外観・ボイド発生率とも良好で,リフロー時間を約10分に短縮したリフロープロファイルを構築した.
- 2008-11-01
著者
-
加藤 力弥
千住金属工業株式会社田口研究所
-
山形 咲枝
千住金属工業株式会社田口研究所
-
日暮 栄治
東京大学先端科学技術研究センター
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻
-
西 修一
東京大学大学院工学系研究科
-
萩原 泰三
神港精機株式会社
-
竹内 達也
神港精機株式会社
-
須賀 唯知
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
-
加藤 力弥
千住金属工業 田口研
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
-
日暮 栄治
東京大学先端科学技術センター
-
須賀 唯知
東京大学大学院 工学系研究科
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