717 ヒューマンヘルスケア応用のための超高感度マイクロ圧電共振デイスク(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
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概要
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In-home healthcare and smart nursing are significantly important in recent years due to the population aging problem and the lacking of human resources. This paper therefore presents a piezoelectric lead zirconate titanate (PZT) thin film actuated and sensed single crystal silicon disk resonator for trace amount of chemicals detection as well as for recognition of gas molecular from human breath. The disk exhibits excellent quality factor and therefore high sensitivity besides its low driving voltage and low power consumption advantageous. It is a promising candidate to be integrated in micro electromechanical systems (MEMS) and wireless sensor network (WSN) for in-home personal healthcare application.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-08-27
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
須賀 唯知
東京大学
-
前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研
-
前田 龍太郎
産業技術総合研
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
魯 健
東京大学:産業技術総合研究所
-
張 毅
産業技術総合研究所
-
須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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