単結晶シリコンの異方性がディスク型MEMS振動子の振動特性に及ぼす影響
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概要
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- 2010-09-01
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
三原 孝士
オリンパス(株) 未来創造研究所
-
池原 毅
産業技術総合研究所
-
昆野 舜夫
産業技術総合研究所
-
前田 龍太郎
産業技術総合研究所
-
村上 直
産業技術総合研究所
-
三原 孝士
オリンパス
-
池原 毅
産業技術総合研究所 機械システム研究部門
-
前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
-
前田 龍太郎
産業技術総合研
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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