Si微細加工および貼り合わせ技術を利用した超微細ピッチ配線技術
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概要
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
高木 秀樹
産総研
-
花田 幸太郎
独立行政法人産業技術総合研究所
-
鈴木 孝彰
東成エレクトロビーム(株)
-
高木 秀樹
独立行政法人産業技術総合研究所
-
内野 和好
東成エレクトロビーム(株)
-
横井 哲郎
東成エレクトロビーム(株)
-
黎 耀明
東京カソード研究所(株)
-
滝沢 広幸
東京カソード研究所(株)
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