大面積STJ粒子検出器のための赤外線反射フィルターの開発
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概要
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粒子の検出に極低温検出器を用いる際、室温の粒子源から極低温の検出器に粒子を導くため、輻射シールドに貫通穴が必要となる。この貫通穴を通して室温赤外線が流入するため、冷凍機の冷却能力や検出器の性能が大幅に悪化していた。そこで我々は赤外線を反射し粒子を透過するフィルターを考案し、産総研MEMSクリーンルームにて試作を行った。製作したフィルターは厚さ500nm・大きさ12mm×5mmのCu自立薄膜からなり、薄膜には穴径2ミクロン、ピッチ3.5ミクロンの貫通穴があいている。このフィルターの光学特性は、室温赤外線の透過率が1%、イオン透過率が20%であった。またフィルターを輻射シールドとして冷凍機に搭載したところ、冷凍機の冷却能力は本来の性能になり、超伝導トンネル接合検出器のIV特性とエネルギー分解能が向上した。
- 2007-10-10
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
前田 龍太郎
産業技術総合研究所
-
冨田 成夫
筑波大数物
-
冨田 成夫
筑波大学
-
大久保 雅隆
産業技術総合研究所
-
志岐 成友
産業技術総合研究所
-
浮辺 雅宏
産業技術総合研究所
-
清水川 豊
産業技術総合研究所
-
佐藤 優樹
筑波大学
-
大久保 雅隆
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
浮辺 雅宏
産総研
-
前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
-
浮辺 雅宏
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
前田 龍太郎
産業技術総合研
-
志岐 成友
産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門超分光システム開発研究グループ
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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