圧電性材料の厚膜形成技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の積層構造体作製とデバイス形成に関する研究
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概要
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Technological problems for realization of Micro Electro-mechanical System (MEMS) are discussed and an introduction of smart materials (PZT) is encouraged. The film formation and micromachining technology are discussed in integration of PZT thin films into MEMS. Further developments are proposed on PZT micro sensors and actuators with special emphasis laid on exploration of new application fields of MEMS, such as scanning mirror. Internal stress is estimated and analyzed for the improvement of device performance.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2003-12-01
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
前田 龍太郎
産業技術総合研究所
-
王 占杰
東北大学大学院工学研究科
-
王 占杰
東北大学
-
一木 正聡
産業技術総合研究所
-
曹 俊杰
産業技術総合研究所
-
張 麓〓
産業技術総合研究所
-
一木 正聡
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ネットワークmems研究グループ
-
前田 龍太郎
産業技術総合研
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
一木 正聡
産業技術総合研
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